硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高級的硅氫化合物，通式為SinH2n+2。其中，甲硅烷最為常見，有時也將甲硅烷簡稱為硅烷。硅烷的著火和爆炸都是與氧氣反應的結果。硅烷對氧和空氣極為敏感。具有一定濃度的硅烷在- 180℃的溫度下也會與氧發生爆炸反應。固體硅烷與液氧反應非常危險。硅烷燃燒時火焰呈深黃色, 在氧氣充足的條件下發生反應。危害：眼接觸：硅烷會刺激眼睛。硅烷分解產生無定型二氧化硅。眼睛接觸無定型二氧化硅顆粒會引起刺激。吸入：吸入高濃度的硅烷會引起頭痛、惡心、頭暈并刺激上呼吸道。硅烷會刺激呼吸系統及粘膜。過度吸入硅烷會引起肺炎和腎病，這是由于存在結晶二氧化硅的原因。暴露于高濃度氣體中還會由于自燃而造成熱灼傷。攝入：攝入不可能成為接觸硅烷的途徑。皮膚接觸：硅烷會刺激皮膚。硅烷分解產生無定型二氧化硅 。皮膚接觸無定型二氧化硅顆粒會引起刺激。慢性癥狀：如今不清楚長期暴露于硅烷中對健康的進一步影響。過度暴露造成的病情惡化 ：有皮膚和呼吸道疾病的人暴露在硅烷及其分解物中會加重病情。不同暴露途徑之急救方法：熱灼傷：由于硅烷泄漏引起人員灼傷時應由受過培訓的人員進行急救，并立即尋求醫療處理。眼睛接觸：立即用水沖洗最少15分鐘，水流不要太快，同時翻開眼瞼。使受難者為“O”形眼，立即尋求眼科處理。吸入：將患者盡快移到空氣清新處。如有必要由受過培訓的人員進行輸氧或人工呼吸。皮膚接觸：用大量的水沖洗最少15分鐘。脫掉已暴露在硅烷中或被污染的衣服，小心不要接觸到眼睛。如果患者有持續的刺激感或其他進一步的健康影響需立即進行醫療處理。醫生須知：如有必要需吸氧。觀察患者是否有肺炎初期癥狀。
